常規(guī)檢查項(xiàng)目；微管，掉落，坑，撞，粒子，刮傷
硬件：微分干涉顯微鏡組，線掃相機(jī)，消色差遠(yuǎn)心鏡頭，暗場(chǎng)光源
難點(diǎn)：外延片上多種類(lèi)型缺陷，需要一一識(shí)別；不同缺陷有不同的表現(xiàn)，大部分缺陷類(lèi)型可以通過(guò)微分干涉顯微的方式識(shí)別，部分缺陷需要遠(yuǎn)心鏡頭＋暗場(chǎng)打光識(shí)別；
方案：菲涅爾光學(xué)提供多種倍率的微分干涉顯微系統(tǒng)，目前有3.5倍，5倍，7倍，10倍，20倍等多種方案，滿足絕大多數(shù)缺陷檢測(cè)需求。最高分辨率可以達(dá)到0.5um，并且能夠識(shí)別各種缺陷，有良好的表現(xiàn)形式；遠(yuǎn)心鏡頭＋暗場(chǎng)打光，對(duì)于刮傷類(lèi)缺陷有非常好的識(shí)別效果；
優(yōu)勢(shì)：菲涅爾光學(xué)生產(chǎn)的微分干涉系統(tǒng)經(jīng)過(guò)多方市場(chǎng)驗(yàn)證，明暗對(duì)比效果最優(yōu)。對(duì)于外延，襯底都有非常明顯的識(shí)別效果
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